O le Matafaioi a Punaoa o Ion i le Ufiufi o le Vacuum: Mai le Fa'agaoioia o le Luga i le Fa'aleleia o Ata Tifaga
Malamalama i Fa'aoga Autū o Punaoa Ion i le Ufiufi Vacuum
I totonu faiga o le ufiufiina o le vacuum pei o le PVDma PECVD, o puna'oa ion e masani ona manatu i ai o ni vaega e filifili pe fa'apefea. Peita'i, i fa'aoga ufiufi maualuga le fa'atinoga, e masani ona avea ma mea taua i le fuafuaina o le lelei o le ufiufi.
I pisinisi e pei o meafaigaluega tipi, vaega sa'o, ma vaega eletise, tekinolosi puna ion—e ala i Fa'aputuga Fesoasoani a le Ion (IAD)—e mafai ona fa'aleleia atili ai le pipii, mafiafia, ma le mautu o le vali. O le mea lea ua avea ai ma se tekinolosi taua mo le fa'aleleia atili o le fa'atinoga o le valiina.
I fofo o meafaigaluega ufiufi na atiaeina e Tekonolosi Nano a Huasheng, e masani ona tuʻufaʻatasia le tekinolosi o le puna ion i totonu Faiga PVD, DLC, ma le PECVD, e tuʻuina atu ai le pulea mautu o le ave o le ion ma fausia ai se faʻavae ufiufi e sili atu ona faʻatuatuaina mo meafaitino eseese ma vaega lavelave.
1. Mataupu Faavae o le Galuega Faatino o se Punaoa o le Ion
O le galuega autū a se puna ion o le fa'atupu ma fa'avavevaveina ave oona malosi maualuga.
I totonu o le potu ionization, o kasa inert (e masani lava argon) po'o kasa tali atu e fa'aionisa e fausia ai ni vaega ua molia. Ona fa'avavevaveina lea o nei ions e se fanua eletise ma fa'asino atu i le mea o lo'o fa'amoemoeina po'o le fogā'ele'ele o le mea faigaluega, e auai i le fa'agasologa o le ufiufi.
E mafai ona faafaigofieina le faagasologa e faapea:
Kasa → Fa'a'ionasi → Ave o le Ion → Fa'avavevaveina → Fa'atomuaga i luga
O le malosi, itu, ma le mafiafiae mafai ona pulea uma le ave o le ion, ma mafai ai ona pulea sa'o le faagasologa o le ufiufi.
I masini fa'aonaponei e ufiufi ai le masini e aunoa ma le fa'avevela, e le gata ina fa'aaogaina puna'oa o le ion i le taimi o le teuina ae e iai fo'i sao i le togafitiga muamua, fa'aputuina o le vali, ma la'asaga pe a uma togafitiga.
2. Fa'aoga Autū e Tolu o Punaoa o le Ion i le Ufiufi Vacuum
- A'o le'i ufiufiina: Fa'amamaina ma le fa'agaoioia o le fogāeleele
O le lelei o le vali e faʻalagolago tele i le tulaga o le fogāeleele o le mea vali.
Afai o lo'o i ai ni vaega o le oxidation i luga o le fogā'ele'ele, ua pisia i le suau'u, po'o ni vaega ninii, e ono fa'aitiitia tele ai le pipii o le ufiufi.
E masani ona faʻaaogaina punaoa o le ion mo fa'amamāina o le iona'o le'i tu'uina atu.
E osofaʻia e ions malolosi le fogāeleele o le workpiece i le:
Aveese vaega o le oxide ma mea leaga
Aveese vaega ninii laiti
Fa'agaoioia le malosi o luga o le meafaitino
I le taimi lava e tasi, o le fa'apāpāina o le ion e faia ai se luga ma'ale'ale fa'amata'utia, ma maua ai nisi nofoaga e pipii ai mo le ata tifaga ua teuina.
O lenei “fausaga fa’amau laiti” e fa’aleleia atili ai le pipii o le ufiufi ma fesoasoani e puipuia ai le ma’e’e po’o le vavae’eseina o le ufiufi.
E matuā tāua tele lenei la'asaga i le fa'aoga ufiufi o meafaigaluega tipi.
- I le taimi o le ufiufi: Fa'aputuga e Fesoasoani i le Ion (Galuega Autu)
O le matafaioi aupito tāua o punaoa o ion e tupu i le taimi o le laʻasaga o le faʻaputuga.
A'o fa'aputuina atomu ufiufi i luga o le substrate, e osofa'ia e ave o le ion le ata tuputupu a'e i le taimi e tasi, ma faia ai le faiga o le teuina fesoasoani i le ion.
E tele aogā e maua mai i lenei faiga.
Fa'aleleia atili o le mafiafia o ata tifaga
O le fa'apāpāina o le ion e fa'aleleia atili ai le toe fa'atulagaina o le atomika i totonu o le ufiufi o lo'o tuputupu a'e, ma fa'apupuu atili ai le fausaga o le ata tifaga.
O taunuuga e aofia ai:
Fa'aitiitia o pu laiti
Porosity maualalo
Fa'aleleia atili le tete'e atu i le 'ele
Fa'aleleia atili le tete'e atu i le ofuina
Fa'aleleia atili o le tutusa o le ufiufi
Mo ni fausaga faigata, o auala masani o le teuina e mafai ona maua ai se aafiaga o le ata, ma tu'ua ai nisi o vaega e le o ufitia lelei.
E mafai ona fa'atonutonu ave o le ion e fa'afetaui ai nei vaega, ma fa'aleleia atili ai le tutusa o le ufiufi.
E taua tele lenei mea mo:
O le tipiina o pito o meafaigaluega
Vaega sa'o
Fausaga e tolu-vaega
Puleaina o le Fausaga Maiko o Ata Tifaga
I le fetuuna'i o le malosiaga o le ave o le ion, e mafai ona suia le fausaga tioata ma le auala tuputupu a'e o le ufiufi.
Faataitaiga:
Fa'aleleia atili o le tete'e atu i le ofuina o ufiufi malo
Fa'aleleia atili le foliga vaaia ma le pupula o mea teuteu
Fa'aleleia atili o le manino ma le mautu o ufiufi mafiafia
E taua tele lenei gafatia i talosaga e manaʻomia ai maualuga le ma'a'a ma ufiufi mautu.
- A maeʻa ona ufiufi: Suiga o le ata tifaga
I nisi o faiga fa'apipi'i fa'apitoa, e fa'aaogaina fo'i punaoa ion mo togafitiga pe a uma ona valiina.
O le fa'apāpāina o le ion i le ata tifaga ua teuina e mafai ona:
Fa'aitiitia le mamafa i totonu o le ufiufi
Fa'aleleia le malosi o le pipii i le va o le ufiufi ma le substrate
Fa'aleleia le lamolemole o luga
Fa'aitiitia le fua fa'atatau o le fete'ena'iga
O lenei togafitiga e masani ona faʻaaogaina i Ufiufi DLC (kalaponi e pei o taimane)ma isi ata tifaga aoga.
3. Fa'aaogāina o Punaoa o le Ion i Faiga Eseese o le Ufiufi
E mafai ona tu'ufa'atasia puna'oa ion ma tekinolosi vali eseese, fa'atasi ai ma galuega eseese e fa'atatau i le fa'agasologa.
- PVD Magnetron Sputtering
I le magnetron sputtering, e fesoasoani tele punaoa ion i le:
Fa'aleleia le pipii o le ufiufi
Fa'ateleina le mafiafia o le ufiufi
Fa'aitiitia le eseesega o lanu i ata tifaga teuteu
O faʻaoga masani e aofia ai:
Ufiufi meafaigaluega tipi
Pusa telefoni feavea'i
Ufiufi teuteu
- Ufiufi Fa'amamago
E maualuga le fua faatatau o le fa'amamāina pe a fa'apuna le vai ae e masani ona maua ai ni ata e fai si pu'upu'u.
E fesoasoani punaoa o le ion e faatoilalo nei tapulaʻa e ala i le:
Fa'ateleina o le mafiafia o le ufiufi
Fa'aleleia atili le mautu o le ata tifaga
Fa'aleleia atili o le fa'atinoga opitika
O faʻaoga masani e aofia ai:
Tioata tioata
Fa'amama
Ufiufi e atagia mai ai le ata
- Fa'agasologa o le PECVD
I faʻagasologa o le PECVD, e mafai e punaoa ion ona fesoasoani i le faʻaionaina o kasa tali atu ma le sili atu ona lelei.
O a latou matafaioi autū e aofia ai:
Fa'ateleina o le fua faatatau o le teuina
Fa'aleleia atili o le tutusa o le vali
Fa'aleleia atili le mautu ma le tutusa o le ata tifaga
O faʻaoga masani e aofia ai:
Ata tifaga e fa'amafanafana ai
Ufiufi aoga
Ata manifinifi e feso'ota'i ma le semiconductor
4. Mea Taua i le Filifiliga o le Puna o le Ion
O faʻaoga eseese o ufiufi e manaʻomia ai faʻatulagaga eseese o puna o ion.
O fa'ailoga autū e mafaufau i ai e aofia ai:
- Fa'asologa o le Malosiaga o le Ion Beam
Fuafuaina le gafatia e oso ai i pomu ma le mafai ona pulea le fausaga o le ufiufi.
- Mausali o le Ave o le Ion
O ave ion mautu e fa'amautinoa ai le tutusa o faiga ufiufi ma le maualuga o le gaosiga.
- Olaga Atoa o le Puna o le Ion
O le umi o le ola e faʻaaoga ai e faʻaitiitia ai tau o tausiga ma faʻaleleia atili ai le faʻaaogaina o masini.
- Lapopo'a o le Ave o le Ion
E sili atu ona fetaui puna o ion e lautele le ave mo fasi galuega e tele se vaega po'o le gaosiga fa'aputuga.
I le faʻatinoga, e tatau ona mafaufau i le filifiliga mea e vali ai, ituaiga vali, ma manaʻoga mo le faʻaaogaina.
5. Huasheng Nanotechnology ma le Ion-Assisted Coating Technology
I faʻaoga ufiufi faʻapisinisi, ua avea le tekinolosi puna ion ma se vaega taua o faiga ufiufi maualuga le faʻatinoga.
I le atina'eina o PVD, DLC, ma Meafaigaluega vali PECVD, Tekonolosi Nano a Huashengfaʻaaoga tekinolosi fesoasoani ion e faʻaleleia atili ai faiga ufiufi, e pei o:
Fa'aleleia atili o le pipii ma le tete'e atu i le ofuina o ufiufi o meafaigaluega tipi
Fa'aleleia atili le tutusa o le vali i vaega faigata
Fa'ateleina le mautu ma le tutusa o ufiufi aoga
E ala i le tuufaatasiga o mamanu o masini ma le fa'aleleia atili o le fa'agasologa, e mafai e le tekinolosi puna ion ona tuʻuina atu le faʻatinoga mautu i le tele o faʻaoga ufiufi.
Faaiuga
O le taua autū o punaoa ion o loʻo taoto i lo latou gafatia e fa'aleleia atili faiga masani o le ufiufi e ala i le fa'aputuga fesoasoani i le ion.
Mai le fa'amamāina o luga a'o le'i valiina, i le fa'amalosia o le tuputupu a'e o le ata tifaga i le taimi o le fa'aputuina, ma e o'o lava i le suia o meatotino o ata tifaga pe a uma ona valiina, e iai le sao o puna o ion i le faagasologa atoa o le valiina.
A'o mana'omia e pisinisi gaosi oloa le maualuga o le fa'atinoga o le ufiufi, o lo'o fa'ateleina le taua o punaoa o le ion i masini ufiufi fa'aonaponei.